随着半导体技术的飞速发展,芯片封装测试作为半导体产业链中至关重要的一环,其技术水平和质量控制直接关系到最终产品的性能和可靠性。科准测控团队深耕半导体测试领域多年,深知封装测试对于保障芯片功能实现和长期稳定性的关键作用。
本文将系统介绍半导体芯片封装的目的、发展趋势,以及封装测试的核心原理、行业标准、关键仪器和标准流程,特别是重点介绍Beta S100推拉力测试仪在封装测试中的应用。通过本文,读者将全面了解现代半导体封装测试的技术体系和实践方法,为相关领域的研究和生产提供参考。
一、半导体芯片封装的目的与原理
1、封装的核心目的
半导体芯片封装主要基于以下四个关键目的:
保护功能:裸芯片只能在严格受控的环境下(温度230±3℃,湿度50±10%,严格的空气洁净度和静电保护)正常工作。封装保护芯片免受外界恶劣环境(温度-40℃至120℃以上,湿度可达100%)的影响。
支撑功能:
固定芯片便于电路连接
形成特定外形支撑整个器件,提高机械强度
连接功能:实现芯片电极与外界电路的电气连接。通过引脚与外界电路连通,金线连接引脚与芯片电路,载片台承载芯片,环氧树脂粘合剂固定芯片。
可靠性保障:封装材料和工艺的选择直接决定芯片的工作寿命,是封装工艺最重要的衡量指标。
2、封装技术原理
现代半导体封装基于多层材料复合与微连接技术原理:
物理保护层原理:通过塑封材料(如环氧树脂)形成密封保护层,阻隔环境因素
热力学匹配原理:各封装材料的热膨胀系数需相互匹配,减少热应力
微互连技术:通过金线键合、倒装焊等方式实现芯片与基板的电气连接
应力缓冲原理:通过结构设计分散外部机械应力
二、半导体芯片封装技术的发展趋势
尺寸小型化:封装变得越来越小、越来越薄
高密度化:引脚数持续增加,焊盘大小和节距不断缩小
工艺融合:芯片制造与封装工艺界限逐渐模糊
成本优化:封装成本持续降低
环保要求:绿色环保封装材料和工艺成为趋势
三、封装测试标准体系
1、国际通用标准
JEDEC标准:
JESD22-B104:机械冲击测试
JESD22-B105:键合强度测试
JESD22-B106:板级跌落测试
IPC标准:
IPC-9701:表面贴装焊点性能测试
IPC/JEDEC-9702:板级互连可靠性测试
MIL-STD标准:jun用电子设备环境适应性标准
AEC-Q100:汽车电子可靠性测试标准
3、关键测试指标
a、机械强度测试
键合拉力测试(Wire Bond Pull)
焊球剪切测试(Bump Shear)
b、环境可靠性测试
温度循环测试(TCT)
高温高湿测试(THST)
高压蒸煮测试(PCT)
c、电气性能测试
接触电阻
绝缘电阻
信号完整性
四、封装测试关键仪器
1、Beta S100推拉力测试仪
Beta S100推拉力测试仪是封装测试领域的专业设备,主要用于测量:
金线、铜线等键合线的拉力强度
焊球、凸点的剪切强度
芯片粘接的剪切强度
A、设备特点
a、高精度力传感器:量程可达500N,分辨率0.01N,满足微焊点与粗端子测试需求。
b、多功能测试模式:支持拉力、推力、剥离力等多种测试方式。
c、自动化操作:配备高清显微镜和软件控制,实现精准定位与数据记录。
2、推刀或钩针
3、常用工装夹具
五、封装测试标准流程
步骤一、测试前准备
1、样品准备
按标准要求取样
样品标识与登记
2、设备校准
力传感器校准
位移系统校准
测试夹具检查
3、测试参数设置
根据标准设置测试速度、角度等参数
设定测试样本数量
步骤二、键合拉力测试流程(以Beta S100为例)
将封装样品固定在测试平台上
选择适当的测试钩(根据线径选择)
将测试钩置于待测键合线中部下方
设置测试参数(速度:0.5mm/s,模式:拉力)
启动测试,设备自动完成:
钩住键合线
施加垂直拉力
记录断裂力和失效模式
重复测试至满足样本量要求
数据分析与报告生成
步骤三、焊球剪切测试流程
样品固定在测试平台
选择适当剪切工具
设置剪切高度(通常为焊球高度的25%)
设置测试参数(速度:0.2mm/s,模式:剪切)
启动测试,设备自动完成:
工具定位
水平施加剪切力
记录最大剪切力和失效模式
重复测试
数据分析
步骤四、测试结果分析
1、数据统计
平均值、标准差
最小值、最大值
CPK分析
2、失效模式分析
键合线断裂
焊盘剥离
界面失效
其他异常模式
3、判定标准
符合JEDEC或其他适用标准
满足客户特定要求
六、封装测试常见问题与解决方案
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