STM系列白光干涉仪可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，最高RMS重复性可达0.002nm。STM-1000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件，最高扫描速度400um/秒，3200Hz加业内原创SST+GAT算法，可瞬间完成最高500万点云采集。白光干涉原理通过光干涉相位计量任意放大倍率下均可获得1nm的检测精度。