在功率半导体器件、集成电路和多芯片模块等现代电子封装中,铝带键合技术因其载流能力强、机械稳定性好而被广泛应用。然而,铝带键合点的可靠性直接决定了整个器件的寿命与性能。其中,键合点根部(即铝带与芯片焊盘或基板导线的楔形结合处)是应力最为集中的区域,极易在生产过程或服役环境中产生裂纹、颈缩甚至wan全断裂,导致器件失效。这种“根部损伤"失效模式是行业内的主要挑战之一。
为了精准评估铝带键合工艺的质量和产品的可靠性,对其进行定量的力学强度测试至关重要。推拉力测试是行业内公ren的、zui有效的键合强度评估方法。本文将详细介绍利用科准测控的Alpha W260推拉力测试机进行铝带键合点根部损伤失效分析的原理、标准、仪器和标准操作流程,为相关行业的工艺改进与质量管控提供科学依据。
一、 测试原理
推拉力测试的基本原理是通过一个精密的测力传感器,对键合点施加一个垂直于或平行于键合界面的力,直至键合点失效,并实时记录整个过程中的力值变化。其最大力值即为该键合点的强度。针对铝带键合点的根部强度测试,通常采用 “拉钩测试法":
钩针定位:测试使用一个特定形状的钩针,精确地放置在铝带拱丝的中段。
施力方向:钩子沿垂直方向向上运动,对铝带施加一个垂直于芯片表面的拉力。
力传导与失效:这个拉力通过铝带传递到两个键合点(芯片上的第一键合点和基板/引线框架上的第二键合点)。由于根部是几何形状突变和应力集中的位置,在拉力持续增加下,最薄弱的根部会首先产生裂纹并扩展,最终发生断裂。
数据采集:Alpha W260的内置高精度传感器会记录下断裂瞬间的最大力值,这个力值即为该键合点的拉断力。通过分析断裂位置和力值曲线,可以准确判断失效模式是否为根部损伤。
二、 测试标准
GJB 548B-2005 《微电子器件试验方法和程序》:方法2011.7(键合强度)对测试方法和合格判据有明确规定。
MIL-STD-883 《微电子器件试验方法和标准》:方法2011.7是国际上广泛认可的键合强度测试标准。
JEDEC JESD22-B116 《 wire Bond Shear Test Standard》:虽然主要针对球焊,但其对测试环境和程序的要求具有重要参考价值。
三、 测试仪器
1、Alpha W260 推拉力测试机
核心特点与技术参数:
1、高精度力值测量:采用高分辨率传感器,确保数据准确可靠。
宽广的测试力程:提供从0.1N到260N的多种力传感器选择,wan美匹配铝带(通常宽度为100μm至500μm)的强度测试范围。
2、高精度运动控制:X-Y-Z三轴采用高精度步进电机或伺服电机,定位精度可达微米级,确保钩针与铝带对位的精确性。
3、高清光学系统:配备高倍率连续变倍显微镜和CCD相机,提供清晰的实时图像,便于精确寻找和对准测试点。
4、测试治具:提供各种规格的芯片座和拉钩、推刀等工具,以适应不同封装形式和键合类型的测试需求。
四、 测试流程
1、样品准备
将完成铝带键合的待测样品(如芯片模块)固定在测试机的专用夹具上,确保放置平稳。
2、系统校准
开启Alpha W260设备和控制软件,进行力传感器和运动轴的日常校准。
3、程序设置
在软件中选择“拉力测试"模式。
设置测试参数:测试速度(通常为0.1-1.0 mm/s)、测试高度(钩子提升距离)、力值上限(略高于预期断裂力)等。
选择对应的钩针类型,并设置合适的“搜索高度",即钩针向下接触铝带前的安全距离。
3、对位操作
通过操纵杆或软件控制移动X-Y-Z平台,在高清显微镜视野下,将钩针精确移动至待测铝带拱丝的正上方。
缓慢下降Z轴,使钩针轻轻钩住铝带中部,确保不预加载应力。
4、执行测试:
点击软件“开始"按钮,测试机自动运行。钩子以设定速度垂直向上运动,对铝带施加拉力。
软件实时绘制力-位移曲线。
5、数据记录与失效分析
测试结束后,系统自动记录最大断裂力值。
关键步骤:操作人员在显微镜下观察断裂位置,并在软件中选择对应的失效模式:
根部断裂:断裂发生在键合点根部。这是本次分析的核心关注点。
焊盘脱落:键合点仍附着在铝带上,但芯片焊盘金属层被拉起。
中间断裂:铝带在拱丝中间位置断裂。
界面断裂:键合点从焊盘界面处脱落。
将力值数据与失效模式一一对应记录。
6、结果统计与报告生成
完成一组样品(通常为25-30个点)测试后,使用软件的数据统计功能,计算平均强度、标准差等。
生成测试报告,包括力值分布图、失效模式比例图以及原始数据列表,为工艺分析和质量判断提供直观依据。
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